描述
建立精确的电路仿真模型需要高质量、220-GHz的探测解决方案。例如,图1显示了从140至220GHz的50纳米T选通变形GaAsHEM
T晶圆测量1。可同时观看所有的4个S参数。请看左下方的迹线S21,在大约150GHz处与X轴相交。为了揭示设备的真实增益,需要使用.s2p文件(原始数据)进行去嵌入处理,该处理过程可在网络分析仪内部进行也可脱机进行。
使用AgilentN5250APNA系列毫米波网络分析仪(带有140至220GHz(N5260AW05)测试探头模块)进行测量,采用CascadeMicrotech公司的Summit系列12K探针台可进行晶圆测量。(图2显示了系统的110-GHz版本)。全部双端口晶圆校准使用CascadeMicrotech的WinCal2006校准软件进行,执行顺序为直通、反射、反射、匹配(LRRM)。
通过添加调制器(AgilentZ5623AH81)和双路输出脉冲发生器(Agilent81110A),同一台设备就改造成了用于脉冲测量的解决方案。图3显示了W频段75至110GHz简单直通设备的脉冲仿形测量。用于这些测量的脉冲设置如下:
射频脉冲宽度(PW):2μs(50%占空比);脉冲宽度(PW)可减至20ns
B接收机选通脉冲宽度:20ns(0.5%占空比)
测量频率:100GHz
脉冲形状是一个非常有用的分析工具,因为它可显示由被测件(DUT)引起的任何脉冲失真。它是通过在输入端使用脉冲信号激励被测件,然后在输出端折回信号以确定脉冲形状的改变来完成。所有的这些改变都意味着被测件(DUT)非理想(例如,非线性)的行为。
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